多晶纳米级薄膜是一种具有多个晶粒且晶粒尺寸在纳米级范围内的薄膜材料。这种材料在纳米科技、材料科学和工程等领域具有广泛的应用。X射线衍射（XRD）在多晶纳米级薄膜的定性分析中可以帮助确定薄膜的晶体结构类型、晶格参数以及存在的晶相。此外，还可以通过XRD分析衍射峰的宽度来估计晶粒尺寸、晶格畸变等因素，以确保对薄膜结构的定性分析准确可靠。

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